Others DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단]

2017.02.20 19:49

조재규 조회 수:1546

안녕하세요

 

연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.

 

현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.

 

이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27849
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65126
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76960
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111213
45 OES Actinometry 측정 방법 67
44 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 386
43 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀] [1] 920
42 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 996
41 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 1098
40 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 1105
39 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 1114
38 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1385
37 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1421
36 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1485
» DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1546
34 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1570
33 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1634
32 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1805
31 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1833
30 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1917
29 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 2233
28 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 2276
27 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 2298
26 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2310
쓰기
태그

Boards

XE Login