현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [103] 3677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15366
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50582
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63012
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82207
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 340
37 활성이온 측정 방법 [1] 420
36 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 632
35 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 724
34 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 749
33 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 786
32 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 792
31 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 828
30 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 885
29 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 889
28 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 904
27 charge effect에 대해 [2] 1134
26 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1196
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1355
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1513
23 Wafer particle 성분 분석 [1] 1891
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1950
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2938
20 자료 요청드립니다. [1] 5985
19 RGA에 대해서 10162

Boards


XE Login