Others 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용

2004.06.19 16:42

관리자 조회 수:16073 추천:254

만일 플라즈마의 on/off 상태를 알 고자 함이면 일반적인 CCD 카메라를 이용해서
감시할 수 있을 것이며 특별할 상태의 빛 파장대를 관찰하고자 한다면 이 주파수에
맞는 lenz와 filter등을 이용한 CCD를 사용하여야 합니다. 혹은 corona streamer
등을 측정하고자 한다면 수 mirosec의 변화를 관찰할 수 있는 intensified CCD를
사용하게 됩니다. 이때는 CCD의 time resolution이 문제가 되니 이점을 잘 고려
하여야 할 것입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57205
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 447
42 활성이온 측정 방법 [1] 574
41 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 609
40 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 615
39 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 714
38 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 737
37 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 780
36 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1021
35 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1029
34 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1070
33 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1321
32 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1329
31 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1355
30 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1379
29 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1410
28 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1460
27 charge effect에 대해 [2] 1481
26 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1678
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1862
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1974

Boards


XE Login