kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] | 3649 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15344 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50578 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62996 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82140 |
| 38 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 337 |
| 37 | 활성이온 측정 방법 [1] | 420 |
| 36 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 630 |
| 35 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 723 |
| 34 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 749 |
| 33 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 785 |
| 32 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 791 |
| 31 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 827 |
| 30 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 883 |
| 29 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 887 |
| 28 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 900 |
| 27 | charge effect에 대해 [2] | 1134 |
| 26 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1194 |
| 25 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1355 |
| 24 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1512 |
| 23 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 1891 |
| 22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 1937 |
| 21 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 2938 |
| 20 | 자료 요청드립니다. [1] | 5978 |
| 19 | RGA에 대해서 | 10162 |