안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62996
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82140
38 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 337
37 활성이온 측정 방법 [1] 420
36 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 630
35 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 723
34 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 749
33 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 785
» DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 791
31 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 827
30 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 883
29 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 887
28 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 900
27 charge effect에 대해 [2] 1134
26 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1194
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1355
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1512
23 Wafer particle 성분 분석 [1] 1891
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1937
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2938
20 자료 요청드립니다. [1] 5978
19 RGA에 대해서 10162

Boards


XE Login