안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76408
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 397
42 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 550
41 활성이온 측정 방법 [1] 566
40 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 567
39 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 678
38 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 690
37 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 691
» DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 996
35 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 998
34 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1052
33 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1282
32 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1300
31 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1311
30 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1322
29 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1350
28 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1441
27 charge effect에 대해 [2] 1448
26 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1577
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1813
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1937

Boards


XE Login