Langmuir Probe pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련..
2010.06.29 08:37
60 MHz pulse generator와 60 MHz matching box를 구입하여 pulse plasma 특성들 (EEDF, Vp, Te, etc..)을 Langmuir probe를 이용해 측정하려 합니다. 그런데 pulse plasma 측정 방법에 대해 아는 부분이 없습니다. 일반적인 cw plasma 측정과 달리 pulse plasma는 TTL signal이 필요하다고 하는데 TTL signal이 무엇인지 궁금합니다.
그리고 pulse 주기에 따라 이를 측정하기 위한 장치들이 필요하다면 무엇이 필요한지 알고 싶습니다.
time-resolved, time-dependent plasma의 차이도 궁금하구요...
저희 Langmuir probe는 Hiden 社이며 EPison controller를 이용하고 있습니다.
한번에 너무 많은 것을 물어봐서 죄송합니다만, 자세히 알고 싶습니다.
부탁드립니다.
(혹시 관련 manual 자료가 있으면 받을 수 있을까요?)
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76901 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20295 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57212 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68764 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92723 |
| 23 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3335 |
| 22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2892 |
| 21 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2335 |
| 20 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1975 |
| 19 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1862 |
| 18 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1679 |
| 17 | charge effect에 대해 [2] | 1482 |
| 16 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1460 |
| 15 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1411 |
| 14 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1380 |
| 13 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1355 |
| 12 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1329 |
| 11 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1321 |
| 10 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1070 |
| 9 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1029 |
| 8 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 1021 |
| 7 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 781 |
| 6 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 737 |
| 5 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 714 |
| 4 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 615 |