Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] | 75403 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19146 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67517 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89295 |
43 | 탐침법 | 27509 |
42 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 24933 |
41 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22572 |
40 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22512 |
39 | 플라즈마 측정기 [1] | 21275 |
38 | 대기압플라즈마 진단 | 20972 |
37 |
IEDF EQP에 대한 답변
![]() | 20753 |
36 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20397 |
35 | Langmuir probe tip 재료 | 20331 |
34 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20207 |
33 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19609 |
32 | QMA에 관하여 [1] | 19323 |
31 |
AMS진단에 대하여 궁금합니다
![]() | 19004 |
» | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18661 |
29 | RF compensate probe | 18394 |
28 |
PSM을 이용한 Radical측정 방법
![]() | 16994 |
27 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16021 |
26 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14700 |
25 | RGA에 대해서 | 10392 |
24 | 자료 요청드립니다. [1] | 6141 |