OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74891 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18743 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56227 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88060 |
| 23 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3133 |
| 22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2544 |
| 21 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2104 |
| 20 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1733 |
| 19 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1584 |
| 18 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1333 |
| 17 | charge effect에 대해 [2] | 1303 |
| 16 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1281 |
| 15 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1252 |
| 14 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1225 |
| 13 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1177 |
| 12 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1137 |
| 11 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 963 |
| 10 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 960 |
| 9 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 900 |
| 8 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 883 |
| » | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 557 |
| 6 | 활성이온 측정 방법 [1] | 506 |
| 5 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 444 |
| 4 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 394 |
저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요.