OES OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단]

2023.03.21 10:57

플라조아즈마 조회 수:696

안녕하세요!

플라즈마를 좋아하고 공부하고 있는 디스플레이 엔지니어입니다!

 

OES를 스펙트럼 분석을 통해서 공정 개선을 해보고 싶습니다.

그이전에, OES를 통해서 공정중 막질 Uniformity를 개선한 사례가 있는지 궁금합니다.

 

혹시 조언을 얻을 수 있을까요??

감사합니다!!!

 

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