안녕하십니까, 플라즈마 관련하여 공부하고 있으며 디스플레이 업체에 근무하고있습니다.

 

몇 가지 궁금증이 있어서 글을 남기게 되었습니다.

 

OES의 경우 Plasma 정성적 특성을 계측하기 위하여 주로 사용된다고 알고 있습니다. 실제로 Gas 트랜드 및 Chamber 분위기 등의 변화를 

계측할때 사용하고 있습니다.

그런데, OES를 가지고 정량적 측정을 한다는 이야기를 들어서 여쭤보려합니다.

(RGA를 이용한 방법은 몇 가지 논문을 확인하였으나, OES는 생소합니다.)

 

1. 정량적 측정을 하는 방식이 궁금합니다. (혹시 추천해줄 논문 or 자료가 있으시면 읽어보겠습니다.)

 

2. 현재 OES를 사용하여, Chamber 내 H(수소) 함량을 알려고 하는데 가능한지 여쭤보려합니다. (Ar 가스 or N2 가스가 아닙니다.)

 

3. 만약 가능하다면, 참고 할만한 자료가 있으면 추천 부탁드립니다.

 

 

*PECVD Deposition 공정에서 OES를 통한 H(수소) 함량에 따른 Wafer 막질의 변화를 확인하기 위하여 진행하려합니다.

 

 

여러가지 다양한 질문과 답변을 통하여 자료를 찾는데 많은 도움을 받고 있습니다.

감사합니다.   

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [320] 85743
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22614
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59310
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71050
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98095
13 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 27259
12 RGA에 대해서 10644
11 자료 요청드립니다. [1] 6332
10 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3491
9 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2067
8 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 1951
7 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1794
» OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1023
5 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 942
4 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 876
3 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 807
2 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 796
1 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 635

Boards


XE Login