번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 219
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48933
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 56150
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 63558
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 63
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 50
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 199
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 118
88 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 628
87 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 130
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 418
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 3590
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 232
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 910
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 982
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 270
80 알고싶습니다 [1] 192
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1108
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 393
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 577
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 883
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 1341
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1099
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 368

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