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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
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121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 30
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 97
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 49
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 479
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 377
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114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 374
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112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 306
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 329
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 686
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 667
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 532
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 610
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104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 856
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 788
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