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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
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108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 29
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 22
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102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 498
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 682
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 871
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 633
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97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 816
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 12558
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 955
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 386
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 775
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1759
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1006
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1706
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 605

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