번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56136
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. 433
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 50
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 82
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 123
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 98
80 알고싶습니다 [1] 118
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 678
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 208
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 295
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 627
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 850
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 741
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 312
72 임피던스 매칭회로 [1] file 1308
71 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 425
70 chamber impedance [1] 1278
69 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1342
68 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3526
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 734
66 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 804

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