번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77900
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20778
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57695
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69197
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93545
127 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 48093
126 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41348
125 Ground에 대하여 39587
124 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 36058
123 matching box에 관한 질문 [1] 29742
122 Arcing [1] 28693
121 esc란? 28141
120 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27726
119 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27282
118 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26558
117 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26328
116 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25607
115 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24959
114 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24816
113 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24802
112 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24689
111 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23367
110 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22969
109 Peak RF Voltage의 의미 22669
108 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22607

Boards


XE Login