번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64226
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84314
109 ESC DC 전극 Damping 저항 72
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 203
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 197
106 Plasma Arching [1] 315
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 288
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 334
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 401
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 574
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 790
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 1143
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 738
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 558
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 943
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 13051
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1027
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 603
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 897
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1813
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1181
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2039

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