Shower head 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성

2022.09.26 19:29

나비제임스 조회 수:494

안녕하세요. CCP TYPE의 Chamber에 관한 문의점이 있습니다.

 

CCP 방식의 Chamber에서 HF를 이용하여 Plasma를 생성할여 Deposition을 진행하는 공정의 경우 Wafer가 안착되는 Plate의 온도가 Shower Head 보다 일반적으로 높은 조건을 사용하게 됩니다.

이때 HF의 주파수를 기존의 2배로 변경하게되면 Plasma의 밀도가 증가할 것으로 생각되며 다양한 변화가 발생할 것으로 생각됩니다.

그럼 온도 측면에서 Shower Head에 열전달 변화가 발생할까요?

저압에서 진행하는 공정 특성상 Plasma 온도변화가 Shower Head에 미치는 영향은 미비할것으로 생각되는데 주파수 변화와 Plasma 온도와 관련된 논문을 찾을 수 없어서 문의드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75422
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19155
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67553
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89362
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 85
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 147
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 134
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 161
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 134
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 213
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 317
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 456
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 456
» 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 494
106 Plasma Arching [1] 852
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 750
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 730
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 691
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 893
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1253
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2210
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1054
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1281
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1587
쓰기
태그

Boards

XE Login