안녕하세요.

 

실제 양산에서 150mm  200mm 300mm 정전척 마다 chucking을 위해 인가 되는 voltage 값이 얼마 정도 되는지 궁금합니다.

 

그리고 chucking voltage가 너무 크면 생기는 문제와 그 maximum 값을 정하는 지표가 따로 있을까요?

 

너무 궁금해서 논문도 찾아보고 그러는데 오픈 되어있는 정보가 너무 없는 것 같아서 답답하네요..

 

도움을 부탁드립니다...

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103010
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24693
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61458
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73495
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105869
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 810
111 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 545
110 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1530
» 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1096
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 723
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 945
106 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1404
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1864
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1315
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 1018
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1370
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2083
100 RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스] [2] 4070
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1626
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1952
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 2963
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15791
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1662
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1781
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2814

Boards


XE Login