Matcher PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]

2023.12.18 13:36

설비엔지니어 조회 수:791

안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.

 

Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.

 

근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?

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