Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20024 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76737
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92283
42 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7620
41 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7089
40 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6472
39 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9849
38 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9964
37 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21192
36 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24748
35 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19836
34 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23333
33 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22943
32 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47830
31 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25582
30 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24855
29 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24583
28 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27209
27 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41237
» 석영이 사용되는 이유? [1] 20024
25 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21110
24 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26187
23 matching box에 관한 질문 [1] 29667
쓰기
태그

Boards

XE Login