Matcher MATCHER 발열 문제
2018.04.11 18:14
안녕하세요
Ar + O2 wafer 크리닝 설비에
AE사 의 1000W 짜리 RF파워랑 매쳐를 사용하고 있는데요
공정조건이 진공도 250mTorr에 800W에 800초인데 공정진행중
MATCHER 내부에 TUNE 코일을 고정하는 세라믹부에 발열이 너무 심해서 타버렸습니다.
왜 이런 현상이 일어나는지 조언좀 얻을수 있을까요
챔버의 임피던스 문제인지 매쳐가 고장인지....ㅠ
댓글 3
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76997 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20342 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57265 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68809 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92808 |
44 | 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] | 1616 |
43 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1565 |
42 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1542 |
41 | 알고싶습니다 [1] | 1474 |
40 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1472 |
39 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1472 |
38 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1470 |
37 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1448 |
» | MATCHER 발열 문제 [3] | 1441 |
35 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1343 |
34 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1325 |
33 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1287 |
32 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1174 |
31 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1136 |
30 | Plasma Arching [1] | 1082 |
29 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1021 |
28 | 고진공 만드는방법. [1] | 1016 |
27 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 971 |
26 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 899 |
25 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 857 |