안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [98] 3623
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15307
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50563
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62968
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 81977
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 61
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 105
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 393
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 544
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 680
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 530
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 427
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 695
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 11506
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 853
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 339
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 663
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1676
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 903
90 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1516
89 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 536
88 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1775
87 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 394
86 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 799
85 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4358

Boards


XE Login