안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91225
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 22
118 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 409
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 327
116 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 575
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 360
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 351
113 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 310
112 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 280
111 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 314
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 648
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 633
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 525
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 597
106 Plasma Arching [1] 1000
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 956
104 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 841
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 770
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 977
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1441
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 2737

Boards


XE Login