Chamber Impedance Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다

2022.07.24 20:09

이제민 조회 수:605

안녕하세요 디스플레이 근무 중인 사람입니다

 

질문

1.Chamber 환경 변화시 VPP 값의 변화

EX) 주기성 Parts 절연체 감소로 인한 Chamber 변동 시

2. 압력과 VPP의 상관관계

 

이 두가지 질문을 드립니다

제가 많이 부족하여 이렇게 쉬운것도

짊질문을 한점 양해부탁드립니다ㅜㅜ

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] 74891
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18743
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56227
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88060
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 30
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 285
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 390
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 399
106 Plasma Arching [1] 657
105 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 564
» Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 605
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 578
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 788
101 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1065
100 RF matcher와 particle 관계 [2] 1770
99 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 935
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1140
97 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1333
96 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 13683
95 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1272
94 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1116
93 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1217
92 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1993
91 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1554
쓰기
태그

Boards

XE Login