ESC ESC Cooling gas 관련

2019.02.21 19:22

jake88 조회 수:3572

Etch공정에서 ESC Cooling gas로 He을 주로 사용하는데 열전도도가 좋고 불활성가스라는 이유로 많이 사용되는것으로 알고있습니다

비교적 원가가 저렴한 N2가스를 사용하는 경우도 있을까요? 열전도도 반응성이 N2또한 괜찮은것으로 알고있는데 혹시 문제가 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77018
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20348
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57271
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68816
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92816
84 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 857
83 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1713
82 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2594
81 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
80 알고싶습니다 [1] 1474
79 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2847
78 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1616
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3277
76 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3986
75 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3732
74 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10507
73 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 856
72 임피던스 매칭회로 [1] file 2835
71 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1174
70 chamber impedance [1] 2022
69 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5115
68 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6302
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3228
66 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3586
65 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2369
쓰기
태그

Boards

XE Login