Chamber Impedance chamber impedance
2019.09.24 15:45
안녕하십니까? 교수님,
ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다.
알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요?
또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요?
답변을 부탁 드립니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92288 |
| 82 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2580 |
| 81 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
| 80 | 알고싶습니다 [1] | 1459 |
| 79 | Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] | 2820 |
| 78 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1599 |
| 77 | Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] | 3199 |
| 76 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 3927 |
| 75 | Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] | 3691 |
| 74 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10355 |
| 73 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 840 |
| 72 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2804 |
| 71 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1158 |
| » | chamber impedance [1] | 2009 |
| 69 | 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] | 5069 |
| 68 | Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] | 6270 |
| 67 | matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] | 3185 |
| 66 | dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] | 3512 |
| 65 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2334 |
| 64 | ESC Cooling gas 관련 [1] | 3533 |
| 63 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1324 |
미안합니다만 저희는 부품 및 설계 자료를 갖고 있지 않습니다. 장비사가 축적한 데이터가 될 것 같고, 아마도 회사 내에는 자료가 있을 것 같습니다. 부품과 조립 후의 장비 임피던스 또한 측정한 자료를 회사는 분명히 보유하고 있을 것으로 예상합니다. 그 자료를 바탕으로 부품 등의 구입 시 제조 및 제작 공정에 대해서도 설계가 관여할 근거를 갖게 될 것 같습니다.
혹시 장비 설계 및 부품의 정보에 대해서는 국책 연구기관에서 일부 자료를 갖고 있지 않을까요? 기계연/표준연/핵융합연구소-플라즈마기술센터/생산기술연구소 등에서도 제작 경험들이 많으시니 필요한 정보가 있을 수도 있겠습니다.