kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수

2009.11.17 16:06

김곤호 조회 수:68706 추천:217



안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] 76745
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20216
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92304
62 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 634
61 Si Wafer Broken [2] 2515
60 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
59 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2315
58 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4322
57 고진공 만드는방법. [1] 1008
56 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1460
55 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2231
54 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1871
53 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1464
52 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
51 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5903
50 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8151
49 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2494
48 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7229
47 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1912
46 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8651
45 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1950
44 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16946
43 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5811
쓰기
태그

Boards

XE Login