Others Peak RF Voltage의 의미

2004.06.28 01:58

이석환 조회 수:22577 추천:266

질문

안녕하세요...

제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.

감사합니다,.


답변

CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
41 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7062
40 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6452
39 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9816
38 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9908
37 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21182
36 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24735
35 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19830
34 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23317
33 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22930
32 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 47763
31 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25579
30 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24829
29 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24528
28 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27205
27 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41192
26 석영이 사용되는 이유? [1] 19999
25 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21098
24 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26126
23 matching box에 관한 질문 [1] 29651
22 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22229

Boards


XE Login