ESC 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..

2013.06.13 15:05

보탱 조회 수:6492

안녕하세요.

저는 정전척 제조 회사에 근무하고 있는 서보경입니다.

정전척 관련하여 궁금한 것이 있어 이렇게 문의를 드리게 되었습니다.

자사 5.5세대 정전척 제품이 공정 진행 후 Gate 앞쪽 부위의 외각 He-hole 부위에 burning 현상이 많이 나타납니다.

이러한 현상은 glass를 chucking 하기 전에 이미 plasma 가 유입이 되어 이로 인하여 burning 현상이 나타나는 것으로 예상을

하고 있는데요. 그렇다면 이 현상에 대해 메카니즘이 어떻게 되는 것인지 궁금합니다.  

도움을 주시면 정말 감사하겠습니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
42 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1608
41 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1542
40 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1532
39 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1468
38 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1468
37 알고싶습니다 [1] 1468
36 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1467
35 MATCHER 발열 문제 [3] 1437
34 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1436
33 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1335
32 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1282
31 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1281
30 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1171
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1125
28 Plasma Arching [1] 1069
27 고진공 만드는방법. [1] 1014
26 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1013
25 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 969
24 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 892
23 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 852
쓰기
태그

Boards

XE Login