|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[313]
| 79237 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 21259 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 58062 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 69620 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 94403 |
|
28 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
[1] | 998 |
|
27 |
연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어]
[1] | 938 |
|
26 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 922 |
|
25 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 909 |
|
24 |
경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
[1] | 863 |
|
23 |
analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
[1] | 819 |
|
22 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 784 |
|
21 |
주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
[1] | 731 |
|
20 |
RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
[1] | 720 |
|
19 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어]
[1] | 689 |
|
18 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
[1] | 648 |
|
17 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
| 642 |
|
16 |
Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
| 616 |
|
15 |
Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰]
[1] | 600 |
|
14 |
CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계]
[2] | 555 |
|
13 |
CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1]  | 478 |
|
12 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산]
[1] | 450 |
|
11 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 436 |
|
10 |
chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
[1] | 416 |
|
9 |
Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]
[2] | 280 |
