번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4873
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16213
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
66 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1750
65 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1777
64 Si Wafer Broken [2] 1841
63 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1868
62 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1869
61 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1950
60 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2012
59 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2109
58 임피던스 매칭회로 [1] file 2114
57 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2126
56 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2455
55 ESC Cooling gas 관련 [1] 2810
54 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3256
53 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3768
52 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4046
51 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4465
50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5026
49 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5296
48 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5626
47 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5753

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