안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76889
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92716
123 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 13
122 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 64
121 플라즈마 설비에 대한 질문 75
120 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 81
119 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 298
118 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 347
117 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 359
116 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 369
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 407
114 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 426
113 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 517
112 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 551
111 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 557
110 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 586
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 589
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 632
107 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 726
104 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 791

Boards


XE Login