안녕하세요

Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2666
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13877
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49807
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61748
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80432
102 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 260
101 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 292
» Interlock 화면.mag overtemp의 의미 356
99 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 368
98 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 368
97 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 389
96 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 394
95 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 440
94 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 451
93 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 469
92 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 483
91 알고싶습니다 [1] 501
90 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 537
89 RF matcher와 particle 관계 [2] 565
88 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 584
87 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 618
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 657
85 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 713
84 고진공 만드는방법. [1] 745
83 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 773

Boards


XE Login