Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제
2022.07.21 23:00
안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.
연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.
매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.
현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.
매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.
반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.
만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.
감사합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73074 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17640 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65724 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86101 |
| 110 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 104 |
| 109 | ESC DC 전극 Damping 저항 | 254 |
| 108 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 320 |
| 107 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 328 |
| 106 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 449 |
| 105 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 465 |
| 104 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 473 |
| 103 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 495 |
| 102 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 498 |
| 101 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 506 |
| » | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 522 |
| 99 | Plasma Arching [1] | 542 |
| 98 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 637 |
| 97 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 639 |
| 96 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 683 |
| 95 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 692 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 803 |
| 93 | 고진공 만드는방법. [1] | 852 |
| 92 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 857 |
| 91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 870 |