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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[338]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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플라즈마 설비에 대한 질문
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131 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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128 |
chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
[1] | 2388 |
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127 |
Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰]
[1] | 2397 |
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기]
[1] | 2735 |
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124 |
내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링]
[1] | 2737 |
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계]
[2] | 2778 |
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해]
[1] | 2847 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 2927 |
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Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]
[2]  | 2957 |
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
[1] | 2970 |
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ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산]
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반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 3109 |
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플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
[1] | 3170 |
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114 |
RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
[1] | 3172 |
