번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2299
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12785
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49614
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61090
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78478
82 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 754
81 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 856
80 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 933
79 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1024
78 MATCHER 발열 문제 [3] 1066
77 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1113
76 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1136
75 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1211
74 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1239
73 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1313
72 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1435
71 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1448
70 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1461
69 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1499
68 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1520
67 chamber impedance [1] 1567
66 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1589
65 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1601
64 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1643
63 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1660

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