번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4929
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83576
88 고진공 만드는방법. [1] 788
87 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 799
86 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 817
85 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 822
84 RF matcher와 particle 관계 [2] 875
83 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 955
82 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 966
81 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1009
80 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1124
79 MATCHER 발열 문제 [3] 1141
78 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1160
77 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1201
76 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1252
75 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1458
74 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1544
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1593
72 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1606
71 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1642
70 chamber impedance [1] 1676
69 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1690
쓰기
태그

Boards

XE Login