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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[336]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계]
[2] | 934 |
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112 |
RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화]
[1] | 947 |
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111 |
ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다
[1] | 954 |
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110 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
[1] | 965 |
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주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
[1] | 1008 |
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108 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 1141 |
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106 |
경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
[1] | 1178 |
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105 |
연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어]
[1] | 1203 |
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104 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기]
[1] | 1268 |
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103 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1273 |
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102 |
고진공 만드는방법. [System material과 design]
[1] | 1331 |
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101 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
[1] | 1404 |
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1430 |
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대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계]
[2] | 1475 |
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Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1484 |
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RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1512 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1]  | 1644 |
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
[1] | 1648 |
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94 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1686 |
