번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73033
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17617
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86030
90 알고싶습니다 [1] 889
89 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 900
88 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 960
87 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1039
86 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1071
85 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1090
84 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1168
83 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1228
82 MATCHER 발열 문제 [3] 1250
81 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1268
80 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1271
79 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1296
78 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1387
77 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1427
76 RF matcher와 particle 관계 [2] 1525
75 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1670
74 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1697
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1778
72 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1792
71 chamber impedance [1] 1794

Boards


XE Login