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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
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CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 856 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 933 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1024 |
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MATCHER 발열 문제
[3] | 1066 |
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Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1113 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1136 |
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 1211 |
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 1239 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 1313 |
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PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 1435 |
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71 |
CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1448 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 1461 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 1499 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1520 |
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chamber impedance
[1] | 1567 |
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 1589 |
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1601 |
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64 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[2] | 1643 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1660 |
