Others 고진공 만드는방법.
2017.12.15 22:16
background pressure 이 10^-7이 되게 하려면
단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??
그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면
ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?
단순하게 이론적으로 궁금하네요.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78047 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20850 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57738 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93636 |
108 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] | 685 |
107 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 689 |
106 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 691 |
105 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 810 |
104 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 874 |
103 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 881 |
102 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 898 |
101 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 912 |
100 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 949 |
99 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1] ![]() | 978 |
» | 고진공 만드는방법. [1] | 1033 |
97 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 1045 |
96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1050 |
95 | Plasma Arching [1] | 1138 |
94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1191 |
93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1205 |
92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1337 |
91 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] ![]() | 1371 |
90 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1456 |
89 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1484 |
시스템 재료, 설계와 물리는 문제입니다. 진공 이론은 제법 소개가 많이 되어 있으니, 전문 서적을 참고하시고, 설계 등의 상세한 내용은 이전 한국표준과학연구원의 진공센터 혹은 '첨단측정장비연구소 내 반도체측정장비연구그룹'에서 자문을 구할 수 있을 것 같습니다.