ESC 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]

2020.08.12 09:14

김한솔 조회 수:1677

안녕하십니까 김곤호 교수님

ESC를 공부하다가 어려운 내용이 있어서 이렇게 글을 올려봅니다.

전극 형태만 다르고 모두 같은 조건의 ESC중에 (interdigital 형식 전극과  Capacitor 형식의 전극이 큰 전극)

Chucking Force가 어떤 것이 높은지 궁굼합니다.

또 이 두가지의 장단점을 조금만 설명해 주시면 큰 도움이 될 것 같습니다.

대략적인 사진 첨부 드립니다. 컨펌 부탁드리겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 716
107 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 744
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 795
105 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 848
104 RF 파워서플라이 매칭 문제 896
103 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 902
102 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 921
101 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 979
100 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 980
99 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1039
98 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1058
97 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1058
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1076
95 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1160
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1216
93 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1222
92 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1370
91 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1398
90 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1502
89 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1509
쓰기
태그

Boards

XE Login