안녕하세요 OLED 증착 전 Plasma 전처리 장비를 다루고 있는 엔지니어 입니다.

GAS 주입후 RF 제너레이터에서 파워를 인가할때 최초 반사파또한 공급파워의 80%이상반사되는 현상이 발생중입니다.

Load Tune 값은 크게 변하지 않는 상태이며 최초 공급시 1sec 정도반사파가 크게 나타나다가 빠르게 안정화 되고 있습니다.

이러한 문제의 원인이 어디에 있는지 공부를해서 찾는중인데 쉽지가 않네요 도움주실만한 것이 있을까 해서 여쭙습니다.

좋은 하루 되세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77759
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20730
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57648
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69148
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93413
87 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1497
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1503
85 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1504
84 알고싶습니다 [1] 1506
83 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1616
82 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1637
81 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1654
80 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1745
79 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1906
78 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1949
77 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1986
76 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1998
75 chamber impedance [1] 2050
74 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2235
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2316
72 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2427
71 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2431
70 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2444
69 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2499
68 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2505

Boards


XE Login