Others CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여

2004.06.25 12:45

관리자 조회 수:19363 추천:286

질문 ::

ICP 장비들을 공부하다 보니까.
일부 특허등에서 전류를 인가하는 coil 이외에 자석을 챔버 주위에 둘르는 것을 보곤 합니다.
이때 자석들이 무슨 기능을 하는지 알고 싶습니다.

ICP 의 경우 코일에 인가되는 전류에 의한 자기장이 챔버 내부에 형성되고 그에 따른 유도 전기장에 의하여 플라즈마를 발생시키게 되는데, 이때 자석이 놓으므로 해서 자기장에 어떤 효과를 주게 되는 지 알고 싶습니다.

ps. ICP의 경우 코일에 의한 자기장이 챔버중심까지 침투하는 건가요? 아니면 skin depth 이외에는 침투 하지 못하는 건지 알고 싶습니다.
만약 그렇다면 13.56MHz를 사용하는 일반적인 ICP 장비의 경우 skin depth가 어느정도 인지 알고 싶습니다.

답변 ::

ICP에 관한 내용은 이곳에 수차례 설명되어 있으니 꼭 참고하시기 바랍니다.
또한 자기장의 역할에 대해서도 이미 언급되어 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77275
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92971
46 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7358
45 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7682
44 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8691
43 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8827
42 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9918
41 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10052
40 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10605
39 반응기의 면적에 대한 질문 12818
38 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13213
37 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14921
36 Virtual Matchng 16860
35 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16981
34 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17367
33 electrode gap 17969
32 Faraday shielding & Screening effect 18373
31 최적의 펌프는? 18555
30 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] 19235
29 MFC 19339
» CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 19363
27 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19849

Boards


XE Login