Others Peak RF Voltage의 의미

2004.06.28 01:58

이석환 조회 수:22856 추천:266

질문

안녕하세요...

제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.

감사합니다,.


답변

CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.  

이 게시물을
Profile
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103321
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105952
53 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6184
52 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절] [1] 6270
51 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe] [3] 6505
50 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성] [1] 6545
49 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전] [1] 6786
48 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6817
47 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7559
46 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 8019
45 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8115
44 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9637
43 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입] [1] 10347
42 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10480
41 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 12652
40 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12918
39 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13313
38 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15707
37 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15806
36 Virtual Matching [Impedance matching] 16996
35 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17244
34 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17509
쓰기
태그

Boards

XE Login