번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [61] 1505
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2188
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75594
99 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 43400
98 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 39542
97 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34205
96 Ground에 대하여 31906
95 matching box에 관한 질문 [1] 28850
94 esc란? 27107
93 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26752
92 Arcing [1] 26634
91 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [1] 26283
90 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25639
89 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25263
88 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24772
87 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24411
86 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24184
85 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24178
84 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23741
83 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22960
82 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22588
81 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22266
80 Peak RF Voltage의 의미 21973

Boards


XE Login