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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58636
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89 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [1] 26211
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87 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25240
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85 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24388
84 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24160
83 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24131
82 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23687
81 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22930
80 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22572
79 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22242
78 Peak RF Voltage의 의미 21894

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