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105 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24712
104 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24490
103 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23305
102 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22919
101 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22565
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