안녕하세요 Etch 공정 담당하는 회사원입니다~

장비 Idle 상태에서 Dummy 이용하는데 과학적으로 왜 쓰는지 정확하게 이유를 알고싶습니다..

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56 RF matcher와 particle 관계 [2] 2751
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51 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2258
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48 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2217
» Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2176
46 chamber impedance [1] 1989
45 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1934
44 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1891
43 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1870
42 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1850
41 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1753
40 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1661

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