번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
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109 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46618
108 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40414
107 Ground에 대하여 37968
106 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34731
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103 Arcing [1] 27376
102 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27085
101 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26772
100 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25933
99 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25424
98 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25246
97 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24534
96 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24412
95 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24333
94 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24048
93 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23108
92 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22727
91 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22403
90 Peak RF Voltage의 의미 22189

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