번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73074
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17640
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86101
70 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9330
69 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7553
68 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7282
67 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6690
66 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6519
65 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6283
64 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6267
63 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5834
62 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5469
61 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5296
60 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4869
59 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4624
58 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 4385
57 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3959
56 ESC Cooling gas 관련 [1] 3148
55 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2938
54 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2538
53 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2460
52 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2355
51 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2349

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