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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
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정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7126 |
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 6519 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6186 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 5847 |
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 5770 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 5634 |
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5036 |
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 4475 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 4061 |
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 3293 |
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ESC Cooling gas 관련
[1] | 2821 |
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Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2463 |
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안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2132 |
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임피던스 매칭회로
[1] | 2120 |
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2114 |
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dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 2025 |
