번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4909
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16244
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83569
68 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9105
67 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7126
66 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7006
65 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6519
64 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6186
63 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5847
62 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5770
61 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5634
60 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5298
59 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5036
58 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4475
57 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4061
56 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3771
55 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3293
54 ESC Cooling gas 관련 [1] 2821
53 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2463
52 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2132
51 임피던스 매칭회로 [1] file 2120
50 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2114
49 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2025

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