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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59412
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57 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6307
56 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6058
55 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6056
54 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5308
53 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5060
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50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4599
49 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4079
48 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3555
47 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 2317
46 ESC Cooling gas 관련 [1] 2308
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44 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 1743
43 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1695
42 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1668
41 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1621
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