안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15351
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50581
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63007
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82181
65 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9069
64 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7078
63 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6905
62 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6484
61 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6155
60 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5686
59 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5652
58 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5573
57 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5265
56 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4970
55 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4379
54 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3807
53 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3731
52 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3019
51 ESC Cooling gas 관련 [1] 2722
50 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2351
49 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2074
48 임피던스 매칭회로 [1] file 2051
47 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2015
46 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1912

Boards


XE Login