제가 얼마전에 회사에 입사하였는데 일하는 부서도 플라즈마파트가 아님에도 뜬금없이 숙제를 하나 받았습니다.

다른건 하나도 가르쳐 주지 않고 질소를 1로 했을때 암모니아와 아르곤의 C.F.를 알아오라네요...

아무리 찾아도 무슨말인지도 모르겠습니다ㅠㅠ

어뜨케 어뜨케 간신히 찾아다니다 보니 mass flow에 관련된 거 같긴한데 이마저도 모르겠습니다.

저도 아는게 하나도 없어서 이렇게 밖에 질문 못하는점 양해 부탁드립니다.

혹시 아시는분 계시면 댓글이나 메일로 답장 부탁 드리겠습니다.

부단히 공부해서 다음에 질문할때는 초보티를 벗어나도록 하겠습니다.

감사합니다.

메일주소는 : say2541@naver.com 입니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57410
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
» 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10052
86 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9919
85 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8836
84 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8694
83 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7684
82 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7366
81 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7146
80 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6519
79 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6327
78 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5987
77 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5887
76 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5657
75 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5142
74 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4399
73 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 4032
72 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3760
71 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3716
70 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3641
69 ESC Cooling gas 관련 [1] 3596
68 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3343

Boards


XE Login