번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1169
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 887
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49370
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59412
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73942
38 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1478
37 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1452
36 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1431
35 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1391
34 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1376
33 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1331
32 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1331
31 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1317
30 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1237
29 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1200
28 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1084
27 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1060
26 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1049
25 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1020
24 MATCHER 발열 문제 [3] 999
23 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 894
22 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 779
21 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 777
20 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 707
19 고진공 만드는방법. [1] 681

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