Others 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]

2022.08.08 11:39

민정 조회 수:1590

고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 81944
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21840
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58625
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70247
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95920
49 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 1803
48 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1742
47 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1736
46 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1625
» 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1590
44 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1577
43 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1577
42 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1577
41 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1569
40 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1567
39 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1450
38 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1430
37 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1273
36 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1267
35 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1230
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1142
33 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1122
32 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1121
31 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1093
30 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1059
쓰기
태그

Boards

XE Login