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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76705
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20159
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57160
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68683
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92226
21 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
20 RF 파워서플라이 매칭 문제 813
19 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 776
18 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 725
17 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 697
16 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 656
15 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
14 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
13 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 584
12 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
11 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
10 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 541
9 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 475
8 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
7 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 388
6 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 356
5 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 347
4 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 327
3 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 200
2 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 67

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