Matcher Interlock 화면.mag overtemp의 의미
2020.12.16 11:20
안녕하세요
Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78039 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20848 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93635 |
28 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 912 |
27 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 898 |
26 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 881 |
25 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 874 |
24 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 809 |
23 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 691 |
22 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 689 |
21 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] | 683 |
20 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 680 |
» | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 616 |
18 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 593 |
17 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 586 |
16 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 572 |
15 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] | 539 |
14 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] | 510 |
13 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1] ![]() | 447 |
12 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 409 |
11 | chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] | 403 |
10 | 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] | 403 |
9 |
Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]
[2] ![]() | 186 |