공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
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matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다.
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임피던스 매칭회로
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
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MATCHER 발열 문제
[3] | 857 |
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Impedence 위상관련 문의..
[1] | 842 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 3289 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1494 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1297 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1546 |
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
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11 |
ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 8576 |
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ICP 플라즈마 매칭 문의
[2] | 20352 |
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HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
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안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
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