번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55047
26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 508
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 610
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 274
23 임피던스 매칭회로 [1] file 1203
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1226
21 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3247
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 611
19 MATCHER 발열 문제 [3] 756
18 Impedence 위상관련 문의.. [1] 710
17 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 2434
16 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1377
15 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1219
14 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1510
13 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4781
12 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 5991
11 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8470
10 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 20258
9 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22678
8 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 32192
7 matching box에 관한 질문 [1] 26997

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