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34 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 411
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 451
32 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 633
31 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 563
30 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 824
29 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 470
28 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1706
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26 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1657
25 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2594
24 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 525
23 임피던스 매칭회로 [1] file 1971
22 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3554
21 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5493
20 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1298
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