Matcher PECVD설비 Matcher 아킹 질문

2023.12.18 13:36

안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.

Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.

근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269]	76738
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	20206
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	57168
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	68702
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	92287
42	스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다	70
»	PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2]	551
40	RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2]	743
39	CURRENT PATH로 인한 아킹 [1]	392
38	반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2]	348
37	Plasma Arching [1]	1051
36	RF 파워서플라이 매칭 문제	815
35	RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1]	1008
34	Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1]	1518
33	임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1]	1270
32	RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.	1459
31	매칭시 Shunt와 Series 값 [1]	1850
30	안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1]	2320
29	RF 반사파와 이물과의 관계 [1]	1113
28	Load position 관련 질문 드립니다. [1]	2438
27	Interlock 화면.mag overtemp의 의미	585
26	Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3]	3927
25	matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1]	10355
24	매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1]	840
23	임피던스 매칭회로 [1]	2804

첫 페이지 1 2 3 끝 페이지

쓰기

댓글 2